Description/kawalan
Penerangan
Susceptor Grafit MOCVD ialah komponen kritikal dalam sistem-Mendapan Wap Kimia Organik (MOCVD). Ia berfungsi sebagai-suhu tinggi, platform pengalir haba yang direka bentuk untuk memegang dengan selamat dan memanaskan substrat semikonduktor secara seragam semasa pertumbuhan epitaxial filem nipis.
pembungkusan dan penghantaran
Pakej kotak kayu
ciri
- Kekonduksian haba yang sangat baik untuk pemindahan haba yang cepat dan seragam
- Kekuatan mekanikal yang tinggi dan kestabilan dimensi dalam keadaan yang melampau
- Permukaan yang licin dan dimesin dengan tepat untuk penempatan substrat yang stabil
- Direka bentuk untuk mempengaruhi dinamik aliran gas dan kecerunan terma
kelebihan
- Memastikan ketebalan filem seragam dan kualiti kristal unggul dalam lapisan-epi
- Membolehkan kebolehulangan proses yang tinggi dan hasil melalui kawalan suhu substrat yang stabil
- Memanjangkan hayat perkhidmatan dan mengurangkan pencemaran zarah akibat rintangan kakisan
- Mengekalkan integriti struktur walaupun kitaran haba berulang, memastikan kebolehpercayaan proses
permohonan
- Digunakan terutamanya dalam reaktor MOCVD untuk pertumbuhan epitaxial lapisan semikonduktor kompaun (cth, GaN, GaAs, InP) pada substrat seperti silikon, silikon karbida atau nilam.
- Penting untuk mengeluarkan peranti optoelektronik (LED, diod laser) dan semikonduktor kuasa frekuensi{0}}radio (RF).
Cool tags: susceptor grafit mocvd, China susceptor grafit mocvd pengeluar, pembekal, kilang